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- 工藝氣體元件（特氣閥）
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- 過程控制元件
- 液壓元件
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其他 對應RS232C的元件
雙溫控器/高性能變頻型 HRZD
-
?1臺深冷器可分別控制2個系統(tǒng)
?雙變頻器：DC變頻冷凍機與變頻泵實現了大幅節(jié)能
?省空間：設置面積減小23％
?省配線、省空間、省工時：電源線纜只有1根，冷卻水配管僅有1個系統(tǒng)
?符合SEMI規(guī)格、CE標識
※提供樣機試用服務
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| 系列 | 設定溫度 范圍 | 冷卻能力 | 溫度 穩(wěn)定性 | 冷卻方式 | 循環(huán)液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZD | －30～90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | 氟化液 乙二醇水溶液（60％） |
