小型2、3通電磁閥
小型直動式2通電磁閥 VDW
| 系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口直徑 |
|---|---|---|---|
| VDW10/20 | N.C. | φ3.2，φ4，φ6，M5，1/8 | φ1～φ3.2 |
水、空氣用小型直動式2/3通電磁閥 VDW
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※VDW10/20系列于2012年12月停產(chǎn)。
請選擇NewVDW10/20系列。
※VDW30系列于2015年7月停產(chǎn)。
請選擇VX21系列。
※3通閥VDW200/300仍在銷售。
| 系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口直徑 (mmφ) |
|---|---|---|---|
| VDW10/20/30 | N.C. | M5～1/4 (8A) | 1～4 |
| VDW200/300 | C.O. | M5～1/4（8A） | 1～4 |
水、空氣用小型輕量2通電磁閥 VDW-XF
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?采用體積小、重量輕的樹脂主體（PPS）。
?IP65。
?消耗功率：3W（標(biāo)準(zhǔn)）、0.5W（帶節(jié)電回路）。
| 系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口徑（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VDW30/40-XF | N.C. | 快鎖P7，P8 φ4，φ6，φ8，φ10 | 1～6 |
高頻2通閥 SX10
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?高速響應(yīng)：ON時 0.45ms、OFF時 0.4ms(±0.05ms)。
?長壽命 50億次以上。
?高頻率 1200Hz。
?薄型 9mm。
?低功耗 4W。
| 系列 | 流量 | 消耗功率 (W) | 最高動作頻率 (Hz) |
|---|---|---|---|
| SX10 | 50 | 80 40 10 4 | 1200 1000 550 350 |
| SX10 | 100 | 80 40 10 4 | 650 550 300 200 |
| SX10 | 150 | 80 40 10 4 | 600 500 250 150 |
薄型2、3通電磁閥 SX90/090
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?小型
全長：約38mm(2通閥)、54mm(3通閥)
閥寬、高：10mm
重量：10g(2通閥)、20g(3通閥)
?大流量
C［dm3/（s·bar）］：0.25(2通閥)、0.5(3通閥)
流量［L/min（ANR）］：45(2通閥)、90(3通閥) (0.2MPa時)
| 系列 | 閥構(gòu)造 | C［dm3/（s·bar）］ | 流量［L/min（ANR）］ 0.2MPa | 切換方式 |
|---|---|---|---|---|
| SX91 | 2通直動式座閥 | 0.25 | 45 | 常斷 |
| SX92 | 2通直動式座閥 | 0.12 | 22 | 通用 |
| SX090 | 3通直動式座閥 | 0.5 | 90 | 通用 |
干燥空氣用先導(dǎo)式2通電磁閥 VQ
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?高頻率動作。
高速響應(yīng)7ms以下（VQ20）、20ms以下（VQ30）。
?內(nèi)置快換管接頭，便于配管。
?DIN插座式 可對應(yīng)防塵、防噴流型（IP65）。
?用于工件的吹氣、吹除。
?集裝式型號：VV2Q22，VV2Q32。
| 系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口直徑（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VQ20 | N.C. | φ6～φ12 | 3.4 |
| VQ30 | N.C. | φ6～φ12 | 4.8 |
省氣型強(qiáng)力吹氣閥 IBV
| 系列 | 接管口徑 | 使用壓力范圍 |
|---|---|---|
| IBV10 搭載電磁閥 | IN：3/8 OUT：1/4 | 0.15?0.7MPa |
| IBV11 氣控型 | IN：3/8 OUT：1/4 先導(dǎo)通口：1/8 | 0.1?0.5MPa |
脈沖吹氣閥 AXTS040□-□□-X2
| 系列 | 閥構(gòu)造 | 切換方式 | 頻率調(diào)節(jié)幅度 |
|---|---|---|---|
| AXTS040□-2□-X2 | 金屬密封 | 內(nèi)部先導(dǎo)規(guī)格 | 1?5Hz |
| AXTS040□-3□-X2 | 金屬密封 | 外部先導(dǎo)規(guī)格 | 1?8Hz |
脈沖吹氣閥 AXTS040-X202
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?利用脈沖吹氣所形成的峰值壓力
實現(xiàn)高效吹氣
?CO2排放量（空氣消耗量）：減少50%
?無需任何控制，即可產(chǎn)生脈沖
只需供給空氣，就可以進(jìn)行脈沖吹氣！
?先導(dǎo)閥內(nèi)置結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)穩(wěn)定的吹氣
| 系列 | 閥結(jié)構(gòu) | 切換方式 | 頻率調(diào)整范圍 |
|---|---|---|---|
| AXTS040□-X202 | 間隙密封 | 內(nèi)部先導(dǎo)規(guī)格 | 1?12Hz |
小型化學(xué)液用直動2?3通電磁閥 LVM
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?低發(fā)塵、禁油、無金屬 ※接觸液體部分
?分離構(gòu)造
膜片將使用流體區(qū)域與電磁頭驅(qū)動部分隔離開
?消耗功率：1.0W以下（帶節(jié)電回路）
?容積變化量（抽取量）：0.01μL以下
| 系列 | 閥構(gòu)造 | 閥形式 | 使用壓力范圍 | 孔口徑（mm） |
|---|---|---|---|---|
| LVM07 底座配管型 | 直動搖臂型 | N.C. | -75kPa?0.1MPa | 0.8 |
| LVM09 直接配管型 底座配管型 | 直動搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.2MPa | 1(直接配管) 1.1(底座配管) |
| LVM10 直接配管型 底座配管型 | 直動搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.25MPa | 1.4 |
| LVM15 直接配管型 底座配管型 | 直動搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.25MPa (最大0.6MPa) | 1.6 1(高壓型) |
| LVM20 直接配管型 底座配管型 | 直動搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.3MPa (直接配管型為0.25MPa) | 2 |
| LVM1□ 直接配管型 底座配管型 | 直動座閥型 | N.C. | 0?0.25MPa | 1.5 |
直動型2、3通隔離式電磁閥 LVMK20/200
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?低發(fā)塵、禁油、無金屬。
?使用流體：空氣、水、脫離子水(純水)、稀釋液、洗凈液。
?分離構(gòu)造
隔離密封墊將使用流體區(qū)域與電磁驅(qū)動部隔離。
?簡單配管。
?防止液體積留。
?不需要調(diào)節(jié)流量。
| 系列 | 閥形式 | 配管方向 | 接觸液體部分材質(zhì) |
|---|---|---|---|
| LVMK | N.C. 萬向型 | 下方配管 橫向配管 | 主體：PPS 密封件：EPDM, FKM |
夾管閥 LPV
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?可防止污物的流入，減少閥故障
?適用管子
硅樹脂、PharMed?BPT、Tygon?
?消耗功率：2.0W
?小型：閥寬20mm
?管子易于更換（拆卸）
| 系列 | 切換方式 | 閥形式 | 適合管子 |
|---|---|---|---|
| LPV | 直動型電磁閥 | N.C. N.O. | 硅樹脂、PharMed?BPT 「硬度64（SHORE A）以下（參考值）」 |
隔膜閥 高純度工藝氣體用 AZ
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?用于精密洗凈及潔凈室組裝。
?全部產(chǎn)品均經(jīng)過了氦氣泄漏檢測。
?符合SEMI規(guī)格
?采用方便作業(yè)的鍛造主體。
| 系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AZ | 氣控型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
| AZ | 手動型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
常閉型高真空電磁閥 XSA
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?最低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
?泄漏量：內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s
?備有2種接頭、內(nèi)螺紋
?消耗功率：最大減少25%
?重量：最大減輕18% 0.5kg→0.41kg
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | 面密封接頭 卡套式接頭 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | Rc, NPT內(nèi)螺紋 | 1/8, 1/4, 3/8 |
