300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
高真空機(jī)器 ? スリットバルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? スリットバルブ?搬送
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?長(zhǎng)壽命：300萬回（常溫時(shí)）
?発塵量：1/5以下に低減（従來品比）
?メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
?安全対策
メカ式エンドロック機(jī)構(gòu)採用
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力 Pa（abs） | 使用流體 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動(dòng)圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大気圧～10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45～0.6 |
