溫控器
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●水冷式冷凝器
利用冷卻水將冷媒冷卻并使其冷凝的熱交換器?？捎糜诖笮凸S等能夠循環(huán)使用冷卻塔水或空調(diào)冷卻水的環(huán)境。
根據(jù)熱交換器的構造不同，可分為雙層管式、多管式、平板式等。
●釋放閥
當一次側壓力超過設定值時,釋放閥開啟，使壓力從二次側泄出的閥。
●SV值
SV：表示Set Value 溫控器中溫控的目標溫度（設定溫度）。
●三相電源
三線的交流電流或交流電壓，互相差120度相位。
輸送相同電力時，三根線各自的電流大小與單相相比僅為三分之一，可以使用較細的電線。擁有更易形成旋轉磁場（可以使用簡單結構的三相電機）的優(yōu)點。
高輸出的設備可以使用三相電源。
●SEMI S8
SEMI S8是除SEMI S2的14項的人體工程學要求之外的，更為詳細的人體工程學的指南。
●SEMI F47
SEMI F47是SEMI標準中、對電壓暫降抗擾度（對瞬時電壓下降的耐受性）進行規(guī)定的指導原則。
對于溫調(diào)器來說是和SEMI S2相同的半導體制造用戶所要求的標準。
●SEMI S2
SEMI是半導體制造設備·平面顯示器制造設備和材料廠商的國際性產(chǎn)業(yè)團體。制定了自己的SEMI標準，以作為半導體制造設備的設計相關的安全指南。
SEMI S2是半導體制造所使用的裝置的工作環(huán)境、衛(wèi)生以及安全的相關要求事項，包括了化學、輻射、電氣、物理、機械、環(huán)境、活在、地震、排放、人體工程學，以及質量、文件、手冊等方面。
多數(shù)的半導體制造商要求工廠運行的設備需符合SEMI S2。
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