|高真空元件-用語集
記載內(nèi)容為一般性特征，根據(jù)工藝條件不同有所變化。詳細(xì)信息請(qǐng)咨詢密封材料廠商。
FKM（氟橡膠）氣體放出少、壓縮永久變形小、氣體滲透量小，被廣泛地作為高真空密封材料使用。 SMC高真空型L型閥的標(biāo)準(zhǔn)材料使用的為三菱電線工業(yè)（株）制（復(fù)合物No.1349-80）。 另有利用O2等離子體從而改善了重量減少率的復(fù)合物（3310-75），請(qǐng)根據(jù)用途選擇。
Kalrez?Dupont Elastomers公司的注冊(cè)商標(biāo)。 耐熱性，耐化學(xué)性優(yōu)良的高氟橡膠（FFKM），但需注意壓縮永久變形。還擁有抗等離子體性（O2、CF4）和防塵性的改良產(chǎn)品，請(qǐng)根據(jù)用途選擇。 復(fù)合物No.4079：，具有良好的耐氣體性和耐熱性的標(biāo)準(zhǔn)Kalrez材料。
Chemraz?Chemraz?是Green，Tweed&CO.公司的注冊(cè)商標(biāo)。耐化學(xué)品性、耐等離子體性優(yōu)良的全氟橡膠（FFKM）。是耐化學(xué)品性、耐等離子體性優(yōu)良的高氟橡膠（FFIKM）。耐熱性也比FKM稍高。請(qǐng)根據(jù)使用的等離子體及其他條件進(jìn)行選擇。 復(fù)合物No.SS592：具有優(yōu)秀的物理特性，在運(yùn)動(dòng)部分使用具有更好的效果。復(fù)合物No.SS630：可用于固定部分及運(yùn)動(dòng)部分，用途廣泛。復(fù)合物No.SSE38：專門開發(fā)用于高密度等離子體，在Chemraz中是潔凈度最高的材料。
Barrel Perfluoro?松村石油(株)的注冊(cè)商標(biāo)。 復(fù)合物No.70W：不含有金屬填充材料的高氟橡膠（FFKM）。對(duì)NF33·NH3具有抗性。在干燥工藝環(huán)境下產(chǎn)生顆粒少，壓縮永久變形也相對(duì)較小。
ULTIC ARMOR?日本華爾卡工業(yè)（株）的注冊(cè)商標(biāo)。 不含有金屬填充材料的氟橡膠。是具有抗等離子體性、低氣體釋放性、耐熱性的密封材料。
有機(jī)硅塑料（硅膠、VMQ）相對(duì)低價(jià)且抗等離子體性良好，但氣體滲透量大。 SMC高真空L型閥（密封材料選項(xiàng)）為三菱電線工業(yè)（株）制（復(fù)合物No：1232-70白）。在O2等離子體、NH3氣體下使用，具有低重量減少率、低顆粒等特點(diǎn)。
EPDM（乙丙橡膠）相對(duì)低價(jià)且耐 性、耐化學(xué)性、耐熱性良好，但對(duì)普通礦油毫無抗性。SMC高真空L型閥（密封材料選項(xiàng)）為三菱電線工業(yè)（株）制（復(fù)合物No：2101-80）。具對(duì)NH3等具有抗性。
粉塵產(chǎn)生及氣體釋放量最少，是清潔的密封方法。主流是成型波紋管波紋管和焊接波紋管。前者粉塵產(chǎn)生較少相對(duì)耐塵性強(qiáng)，后者行程大，但在粉塵產(chǎn)生及耐塵方面較弱。需要注意其耐久性受行程及速度的影響。
O形密封圈等氣體吸入、粉塵產(chǎn)生等方面的真空性能稍劣于波紋管式，但可高速運(yùn)轉(zhuǎn)且耐久性相對(duì)較高。軸密封部分一般會(huì)涂抹氟潤滑脂。
向操作用電磁閥施加電壓后，閥(XL□)的行程的進(jìn)行至90%的時(shí)間為閥開啟響應(yīng)時(shí)間。閥開啟動(dòng)作時(shí)間為行程開始至進(jìn)行到行程的90%的時(shí)間。兩者均為操作壓力越高時(shí)間越快。
閥關(guān)閉將操作用電磁閥的電源關(guān)閉，閥(XL□)回歸至行程90%的時(shí)間為閥關(guān)閉響應(yīng)時(shí)間。閥關(guān)閉動(dòng)作時(shí)間為閥關(guān)閉至回歸到行程90%的時(shí)間。兩者均為操作壓力越高時(shí)間越長。
在超薄板中存在?A（cm2）大小的孔的情況下，V為氣體的平均速度，R為氣體常數(shù)，M為分子量，T為絕對(duì)溫度，流導(dǎo)“C”為C=VA/4=(RT /2πM))0.5A、在20℃的空氣下、流導(dǎo)C=11.6A(L/sec)。
圓筒的流導(dǎo)
長度為L(cm)直徑為D(cm),在L>D的情況下、由于C=(2πRT/M)0.5D3/6L，在20℃的空氣下，流導(dǎo)C=12.1D3/L(L/sec)。
短管的流導(dǎo)可以簡(jiǎn)單地由下圖（克勞辛系數(shù)圖）的克勞辛系數(shù)K和孔的流導(dǎo)C得出短管的流導(dǎo)CK，CK=KC。
流導(dǎo)的合成
各個(gè)流導(dǎo)為C1、C2…Cn，則合成流導(dǎo)ΣC為 串聯(lián)配管時(shí) ΣC=1/(1/C1+1/C2+…+1/Cn) 并聯(lián)配管時(shí) ΣC=C1+C2+…+Cn
附著和吸著在金屬等的表面和極淺的內(nèi)部的氣體，由于壓力下降從表面脫離飛入真空中的現(xiàn)象。這隨著表面的先滑度及氧化膜的緊密性而降低。
氣體放出Qg和泄露量Q(L)的和為Q(Pa?m3/s)，排氣速度為S(m3/s)時(shí)，則到達(dá)壓力P(Pa)為P=Q/S。到達(dá)壓力除受上述Qg、Q(L)S的影響之外，還受到泵自身的到達(dá)壓力所限定，當(dāng)壓力較低時(shí)泵自身的排氣特性會(huì)受到較大影響。特別是泵自身的污染導(dǎo)致排氣特性下降、大氣泄露導(dǎo)致的浸水會(huì)對(duì)其造成極大的影響。
在無泄漏的容積為V(L)的空間，用排氣速度為S(L/sec)的氣泵從壓力P1向P2排氣的時(shí)間(Δt)，由于只有容積的排氣負(fù)荷，則Δt=2.3(V/S)log(P1/P2)。在高真空下，由于有表面層（氣體放出）的排氣負(fù)荷，因此受空間的表面狀態(tài)和表面積以及泵的排氣速度的影響。
活化能（E）較小吸附時(shí)間（τ）較短的氧氣、氮?dú)獾瓤梢暂^快排出。但活化能較大的情況下排氣無法進(jìn)行，提高溫度（絕對(duì)溫度T）后吸附時(shí)間縮短則可以快速排出。R為氣體常數(shù)，則τ0=(約)10-13sec、τ=τ0 exp(E/RT)。 例如，水的吸附時(shí)間在20℃時(shí)為5.5×10-6sec，在150℃為2.8×10-8sec約為前者的1/200，可以將吸附時(shí)間較長的水快速排出。
