|低露點(diǎn)的潔凈空氣（潔凈室用空氣）
■用途示例
?潔凈室內(nèi)的半導(dǎo)體零部件吹氣
■凈化系統(tǒng)
點(diǎn)擊系列名可查看詳細(xì)信息。
AT,HAA/HAW：安裝于空氣壓縮機(jī)時(shí)不需要。
AT：使用螺桿式空氣壓縮機(jī)蓄壓時(shí)需要。
■壓縮空氣中的不純物 
| 水分 | 過濾精度 | 油霧濃度注1) | 油臭氣 | 系統(tǒng)的品質(zhì)等級(jí)注2) | |
|---|---|---|---|---|---|
| 露點(diǎn) | 含有水分量 | ||||
| 大氣壓露點(diǎn)：-30～-60℃ 壓力露點(diǎn)：-6～-42℃（0.7MPa時(shí)） |
0.5g～0.02g/?(ANR) | 0.01μm (捕捉效率99.99%) |
Max.0.004mg/? (ANR) 0.0032ppm |
無(wú) | 1,1,1注3) 1,2,1 1,3,1 |
注1）入口側(cè)的油霧濃度（壓縮及輸出濃度）約30mg/m3以下的場(chǎng)合。
注2）根據(jù)ISO8573-1：2010（JIS B8392-1：2012）的壓縮空氣品質(zhì)等級(jí)（參考上表），它是系統(tǒng)可得到的最高品質(zhì)等級(jí)。實(shí)際會(huì)因入口空氣條件而不同。
注3）因?yàn)榭梢远ㄖ疲ǜ鶕?jù)使用條件），請(qǐng)咨詢。
